-
Επικάλυψη χαλκού σε πυριτιού δίσκους:
Οι πυριτιού δίσκοι με επικάλυψη χαλκού μπορούν να προσαρμοστούν ανάλογα με τις απαιτήσεις της βιομηχανίας ημιαγωγών, χρησιμοποιώντας τεχνολογίες κενής ατμόσφαιρας όπως μαγνητρονική επίστρωση, εξάτμιση με ηλεκτρονικό ακίνας, θερμική εξάτμιση και CVD.
-
Προσαρμοσμένος πάχος φιλμ:
Το πάχος φιλμ ρυθμίζεται από 1 nm έως 10 μm με ακρίβεια (±5% και ≤5% ομοιομορφία).
-
Ποικιλία διαστάσεων και στρώσεων:
Διαθέσιμο σε διάφορους διαμέτρους και συνθέσεις στρωμάτων; δυνατότητα ειδικών διαστάσεων και παχών κατόπιν παραγγελίας.
-
Ποιότητα φιλμ/μετρήσεις:
Περιλαμβάνει μετρήσεις ύψους βήματος και τραχύτητας, καθώς και ανάλυση SEM για εγγύηση ποιότητας.
-
Συμβατότητα υποστρωμάτων:
Υποστηρίζει υποστρώματα όπως πυριτίου, κεραμικά, γυαλί, κρύσταλλο και ζαφείρι.
-
Τεχνολογίες προηγμένου DEP:
Παραγωγή με μαγνητρονική επίστρωση, εξάτμιση με δέσμη ηλεκτρονίων και θερμική εξάτμιση για πυκνά, ομοιογενή φιλμ.
-
Καθαρισμός και προετοιμασία:
Πλασματικός καθαρισμός και θέρμανση βελτιώνουν την πρόσφυση σε κενό.
-
Εξατομικευμένη επεξεργασία:
Υποστήριξη εξατομικευμένης επεξεργασίας υλικών με πλήρεις προδιαγραφές και δυνατότητα τιμολόγησης.
